Item

Spec

晶圆尺寸

4inch/6inch/8inch兼容

样品温度

Max 500℃

沉积材料种类

Al2O3、TiO2、SiO2、HfO2、ZrO2、AlN、TiN et al

Al2O3  Uniformity

片内、片间＜±1%  （49点 1σ，去除边缘5mm计算）

Al2O3 Cycle time

＜8s

Al2O3 WPH

100nm 63PCS；20nm 181PCS；5nm 280PCS

Al2O3  折射率

1.64±0.03

Particle（fall on）

0.3um＜30

Particle （in film）

0.3um＜100